文件名称：Berechnung elektronischer Eigenschaften von SiOC mit Hilfe von Dichtefunktionaltheorie
文件大小：38KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-07-19 12:31:53
学术 论文
Berechnung elektronischer Eigenschaften von SiOC mit Hilfe von Dichtefunktionaltheorie Kurzvorträge Berechnung elektronischer Eigenschaften von SiOC mit Hilfe von Dichtefunktionaltheorie M. Petersen Accelrys, Inc. 9685 Scranton Road, San Diego, CA 92121 Keywords: Semiconductor; CASTEP SiOC hat als Material mit ungewöhnlich niedriger dielektrischer Konstante eine wichtige Rolle in der Herstellung von Isolations- schichten in der Halbleitertechnologie. Ein entscheidender Nachteil dieses Mater