横向剪切干涉中剪切量的选取及分析 (2012年)

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文件名称：横向剪切干涉中剪切量的选取及分析 (2012年)
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文件格式：PDF
更新时间：2021-04-28 18:37:09
工程技术 论文 横向剪切干涉技术是一种直接测量波面相位分布的光学测量方法,由于其不需要高精度的参考平面,并且能够测量偏离量较大的表面面形偏差,因此得到了更为广泛的应用。但是,通常情况下剪切量大小的选择凭工作经验来确定。为了给出一种定量的剪切量判定方法,论文提出了一种基于Zernike多项式拟合的剪切量判定方法,通过计算机仿真和实验给出了剪切量与测量误差的关系,发现剪切量为测量口径1/10时即可达到良好的测量结果。