文件名称：最全的MEMS行业研究报告.pdf
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更新时间：2022-08-12 13:05:08
传感技术
MEMS 是英文 Micro Electro Mechanical Systems 的缩写，即微电子机械系统，是利用微米/纳米技术基础，对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的 21 世纪前沿技术。它将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元，不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息采取行动。 与传统机械系统相比，MEMS 系统具备以下优势： ①微型化和集成化：几何尺寸小，易于集成。采用微加工技术可制造出微米尺的传感和敏感元件，并形成二维或三维的传感器阵列，再加上一体化集成的大规模集成电路，最终器件尺寸一般为毫米级。 ②低能耗和低成本：采用一体化技术，能耗大大降低；并由于采用硅微加工技术和半导体集成电路工艺，易于实现规模化生产，成本低。 ③高精度和长寿命：由于采用集成化形式，传感器性能均匀，各元件间配置协调，匹配良好，不需校正调整，提高了可靠性。 ④动态性好：微型化、质量小、响应速度快、固有频率高，具有优异动态特性。