文件名称：硅烷对纳米硅薄膜微结构和光学性能的影响 (2010年)
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更新时间：2024-06-07 17:23:07
自然科学 论文
通过改变反应气体中硅烷体积分数，采用直流偏压辅助等离子体化学气相沉积法在玻璃衬底上沉积本征氢化纳米硅薄膜。使用拉曼光谱仪、原子力学显微镜和紫外可见光透射仪对薄膜进行测试，研究不同硅烷体积分数对薄膜微结构和光学性能的影响。结果表明：当硅烷体积分数增加，晶粒尺寸增加，而晶态含量却随之下降。晶态含量的降低，使拉曼光谱中谱峰的强度降低，峰位发生蓝移，薄膜有序性随之降低；而且薄膜的光学禁带宽度随硅烷体积分数的增加而增加。当硅烷体积分数为1.3%时，沉积本征氢化纳米硅薄膜，薄膜中晶粒分布均匀，其生长存在取向性。此时晶