文件名称：金属Ag微网格修饰ITO薄膜的制备及光电性能* (2012年)
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更新时间：2024-06-07 02:44:40
工程技术 论文
利用聚苯乙烯(PS)微球模板技术和直流磁控溅射技术在ITO(In2O3：Sn)薄膜表面进行Ag的微网格修饰，得到具有良好周期性的表面结构。研究了PS微球直径和直流磁控溅射Ag时间对ITO薄膜表面形貌、可见光区透过率、漫反射率和导电性能的影响。实验及分析证明，对ITO表面进行Ag微网格修饰，当微球直径为2μm，溅射时间为30s时，最大可提高薄膜的导电性能19．5％，其漫反射性能可提高200％，同时在可见光区透过率的降低控制在10％以下，这将有助于提高ITO薄膜作为太阳能电池透明电极的陷光性能。