MEMS高G加速度传感器设计

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文件名称：MEMS高G加速度传感器设计

文件大小：379KB

文件格式：DOC

更新时间：2012-07-26 10:20:08

高G加速度传感器 抗200000G 四梁结构

作业：设计一个高g值（100000）压阻式微加速度传感器 要求：给出设计步骤。 给出确定结构形状和尺寸的依据。 说明力学仿真的作用。