文件名称：氢气对化学气相沉积热解炭的影响 (2013年)
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更新时间：2024-05-31 21:08:59
自然科学 论文
为了研究氢气载气对化学气相沉积微环境的影响，自行设计了化学气相沉积炉并在900℃，丙烯／载气体积比为1：10(载气分别设定为氢气和氮气)，微正压条件下在石墨纸基体上进行化学气相沉积。利用气相色谱仪、气质联用仪分析了沉积区域的沉积基元中间产物，利用扫描电镜、拉曼光谱分析了热解炭的微观结构。结果表明，与氮气载气相比，氢气载气抑制了热解炭的沉积，降低了热解炭的织构，这主要是由于氢气改变了沉积区域中小分子烃／大分子芳香烃比造成的。