论文研究-应变SiGe SOI p-MOSFET温度特性研究 .pdf

时间:2022-09-03 11:06:55
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更新时间:2022-09-03 11:06:55

自加热效应

应变SiGe SOI p-MOSFET温度特性研究,高勇,刘静,SiGe SOI p-MOSFET在高频、高速、低功耗、抗辐射方面具有极大的优势。但二氧化硅埋层较低的热导率以及SiGe材料较低的热稳定性,使得器件


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