文件名称：基于平面线圈线阵的直线时栅位移传感器.pdf
文件大小：5.68MB
文件格式：PDF
更新时间：2022-10-10 04:36:13
论文研究
基于平面线圈线阵的直线时栅位移传感器.pdf,针对现有磁场式直线时栅位移传感器行波磁场产生过程中，齿槽的存在影响行波磁场的匀速性，提出基于平面线圈线阵的直线时栅位移传感器。无齿槽的结构形式提高了行波磁场的匀速性，可实现大极距下的高精度测量。传感器将施加正交信号的两相励磁线圈相间排列形成平面线圈线阵，产生的行波磁场通过磁场拾取线圈感应出电行波信号，处理后得到位移量。通过电磁场分析软件对传感器进行建模仿真，根据仿真结果得到测量误差；通过理论分析对测量误差进行分析溯源，并根据分析结果对传感器结构进行优化。基于分析和优化结果研制出传感器样机，并进行了精度实验。实验表明，传感器在240 mm内测量精度为±1 μm，实现了精密测量。