文件名称:半导体的工艺流程
文件大小:182KB
文件格式:DOCX
更新时间:2024-02-01 04:08:15
半导体的工艺流程
单晶硅片制造需要单晶炉等设备,IC晶圆制造需要光刻机、刻蚀机、薄膜设备、扩散/离子注入设备、湿法设备、过程检测等6大类设备。其中国内湿法设备厂商主要从事半导体、
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半导体的工艺流程
单晶硅片制造需要单晶炉等设备,IC晶圆制造需要光刻机、刻蚀机、薄膜设备、扩散/离子注入设备、湿法设备、过程检测等6大类设备。其中国内湿法设备厂商主要从事半导体、