半导体的生产工艺流程

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文件名称：半导体的生产工艺流程

文件大小：42KB

文件格式：DOC

更新时间：2012-09-12 09:39:56

半导体的生产工艺流程

微机电制作技术，尤其是最大宗以硅半导体为基础的微细加工技术(silicon- based micromachining)，原本就肇源于半导体组件的制程技术，所以必须先介绍清楚这类制程，以免沦于夏虫语冰的窘态。