文件名称:非球面元件面形检测方法、装置、设备及可读存储介质.pdf
文件大小:701KB
文件格式:PDF
更新时间:2023-06-30 06:26:09
深度学习
发明专利说明书。本发明实施例公开了一种非球面元件面形 检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。其 中,方法包括将待测非球面元件的子孔径检测数 据输入至预先利用样本数据集训练深度学习网 络模型得到的面形分布计算模型中,得到各子孔 径的相对位置和重叠区域
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深度学习
发明专利说明书。本发明实施例公开了一种非球面元件面形 检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。其 中,方法包括将待测非球面元件的子孔径检测数 据输入至预先利用样本数据集训练深度学习网 络模型得到的面形分布计算模型中,得到各子孔 径的相对位置和重叠区域