国内外MEMS惯性传感器的现状及发展趋势

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文件名称：国内外MEMS惯性传感器的现状及发展趋势

文件大小：212KB

文件格式：DOC

更新时间：2013-12-25 07:01:53

ＭＥＭＳ、传感器

国内外MEMS惯性传感器的现状及发展趋势，介绍了国内外的MEMS技术及未来发展趋势。