文件名称：微机电系统技术mems基础.rar
文件大小：236.52MB
文件格式：RAR
更新时间：2023-04-02 10:26:58
MEMS 哈工大
ppt为哈尔滨工业大学MEMS课件之一，需要的自取 课程主要内容： 微系统概述 微机电系统功能材料 微机械制造技术 微机械执行器 微机械传感器 微机械弱信号检测与处理 设计与软件介绍
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微机电系统技术基础
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----微机电系统技术基础4_2_1011.ppt(35.3MB)
----微机电系统技术基础2_2_13.ppt(10.54MB)
----微机电系统技术基础3_1_13.ppt(28.72MB)
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----微机电系统技术基础5.ppt(47.14MB)
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----微机电系统技术基础4_1_1010.ppt(19.98MB)
----微机电系统技术基础2_1_12.ppt(17.03MB)
----微机电系统技术基础2_2_10.ppt(10.49MB)
----微机电系统技术基础3_4_1010.ppt(28.09MB)