【文件属性】：
文件名称：微机电系统技术mems基础.rar
文件大小：236.52MB
文件格式：RAR
更新时间：2023-04-02 10:26:58
MEMS 哈工大
ppt为哈尔滨工业大学MEMS课件之一，需要的自取
课程主要内容：
微系统概述
微机电系统功能材料
微机械制造技术
微机械执行器
微机械传感器
微机械弱信号检测与处理
设计与软件介绍
【文件预览】：
微机电系统技术基础
----微机电系统技术基础1_10.ppt(20.85MB)
----微机电系统技术基础4_2_1011.ppt(35.3MB)
----微机电系统技术基础2_2_13.ppt(10.54MB)
----微机电系统技术基础3_1_13.ppt(28.72MB)
----微机电系统技术基础2_3_10.ppt(11.82MB)
----微机电系统技术基础2_3_13.ppt(11.84MB)
----微机电系统技术基础5.ppt(47.14MB)
----微机电系统技术基础3_1_10.ppt(28.69MB)
----微机电系统技术基础3_3_1010.ppt(30.01MB)
----微机电系统技术基础4_1_1310.ppt(20.12MB)
----微机电系统技术基础2_1_13.ppt(15.95MB)
----微机电系统技术基础3_3_1013.ppt(30.03MB)
----微机电系统技术基础4_1_1010.ppt(19.98MB)
----微机电系统技术基础2_1_12.ppt(17.03MB)
----微机电系统技术基础2_2_10.ppt(10.49MB)
----微机电系统技术基础3_4_1010.ppt(28.09MB)