文件名称：论文研究-Experimental investigation on silicon microchannel plate electron multiplier.pdf
文件大小：368KB
文件格式：PDF
更新时间：2022-09-04 10:11:17
silicon
硅微通道板电子倍增器的实验研究，王国政，兰春蕾，采用光辅助电化学腐蚀工艺制备出高纵横比的硅微通道阵列。研究了硅的各向异性腐蚀机理、工艺参数、诱导坑阵列和通道形状，讨论了
论文研究-Experimental investigation on silicon microchannel plate electron multiplier.pdf
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