论文研究-基于Si纳米柱阵列的三维高密度电容研究 .pdf 时间:2022-09-07 21:26:06 【文件属性】: 文件名称:论文研究-基于Si纳米柱阵列的三维高密度电容研究 .pdf 文件大小:681KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-07 21:26:06 PS微球 基于Si纳米柱阵列的三维高密度电容研究,朱宝,王永平,本文通过对自组装的聚苯乙烯(PS)微球进行反应离子刻蚀(RIE),从而形成特定尺寸的PS微球模板,然后以此为模板对Si衬底进行金属辅 立即下载