论文研究-基于Si纳米柱阵列的三维高密度电容研究 .pdf

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文件名称：论文研究-基于Si纳米柱阵列的三维高密度电容研究 .pdf

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更新时间：2022-09-07 21:26:06

PS微球

基于Si纳米柱阵列的三维高密度电容研究，朱宝，王永平，本文通过对自组装的聚苯乙烯（PS）微球进行反应离子刻蚀（RIE），从而形成特定尺寸的PS微球模板，然后以此为模板对Si衬底进行金属辅