文件名称：SECS-HSMS 底层协议详细文档
文件大小：1.97MB
文件格式：RAR
更新时间：2022-10-02 06:37:00
EAP SECS HSMS SECSII
由于国内半导体设备自动化(EAP)发展较晚，和设备通信的SECS协议文档很难找全，很少有详细介绍每个SxFx的功能定义，资源相对缺乏，特贡献半导体详细文档给大家参考。后续会上传一些SECS协议代码及模拟器给大家。如有需要会上传一些协议的讲解供大家学习。
【文件预览】：
SECS.pdf
SECSCourse.pdf
SEMI E5-0301 SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II).pdf