文件名称：基于透射光谱确定硅碳氧薄膜的光学常数 (2013年)
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更新时间：2024-05-27 10:41:32
工程技术 论文
硅碳氧薄膜是一种含有Si、C和O三种元素的玻璃状化合物材料，同时拥有碳化硅薄膜及氧化硅薄膜多种优异的特性，如热稳定性好、能带宽、折射率大、硬度高和热导率高等，是一种具有潜在应用价值的新颖光学薄膜．基于硅碳氧薄膜的紫外／可见／近红外透射光谱，采用 Swanepoel极值包络线法，结合WDD色散模型，建立了一套精确、方便并适合于计算硅碳氧薄膜光学常数的方法．方便地获得了硅碳氧薄膜折射率、厚度等光学常数．并将厚度计算结果与实际测量值进行了比较．结果表明，试验中研究硅碳氧薄膜光学常数所采用的方法是合理的，能够准确