MICROSYSTEM DESIGN - Stephen D. Senturia

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文件名称：MICROSYSTEM DESIGN - Stephen D. Senturia

文件大小：19.56MB

文件格式：PDF

更新时间：2021-08-10 03:40:34

MEMS 微制造 教科书

经典微制造教科书，讲解了微机械电子系统的很多内容，包括机械结构和微流体。