论文研究-硅基ZnO纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性研究 .pdf

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文件名称：论文研究-硅基ZnO纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性研究 .pdf

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更新时间：2022-09-11 21:48:14

ZnO

硅基ZnO纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性研究，轩君，刘爱民，为研究硅基ZnO纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性，采用籽晶辅助化学水浴沉积法：即先用磁控溅射法在P-Si(100)衬底上制备一层ZnO薄膜作为籽