文件名称：溶胶一凝胶法制备Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜的微结构及介电性能研究 (2006年)
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更新时间：2024-06-01 09:12:00
自然科学 论文
使用部分醋酸盐为原料，用改进的溶胶一凝胶法制备钛酸锶钡（Ba0.6Sr0.4TiO3，BST）薄膜。场发射扫描电镜（FESEM）分析发现，薄膜均匀致密，表面无空洞、无开裂，晶粒尺寸约为50m。用原子力显微镜（AFM）测量薄膜表面的方均根粗糙度为78nm。用透射电镜（rIEM）观察薄膜的断面结构，用阻抗分析仪测试了薄膜的介电性能，其介电常数和介电损耗分别为460和4%（1kHz）。