【文件属性】：
文件名称：SECS GEM 300mm半導體設備軟體標準
文件大小：593KB
文件格式：PDF
更新时间：2016-06-10 10:23:50
SECS GEM 300mm SEMI
全中文
台灣工研院發表的文章
300mm是比較難完成的GEM 協定
給各位參考
网友评论
- 文档比较简单，没有实际内容，只有process control的一些框架简介。
- sesc协议，Good!
- 还可以，中文的简介，好理解些。
- 12"wafer是目前的主流，此文件有相當的幫助。
- sesc协议，很好的资料