1-声学MEMS设计工具Tanner软件及应用.pdf

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文件名称：1-声学MEMS设计工具Tanner软件及应用.pdf

文件大小：6.62MB

文件格式：PDF

更新时间：2022-09-11 07:11:57

Mems Tanner

以MEMS硅麦为例子，对Tanner MEMS进行简介，然后讲述在声学MEMS硅麦上Tanner的仿真和使用