CMOS-MEMS惯性传感器的原理和应用.pdf

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文件名称：CMOS-MEMS惯性传感器的原理和应用.pdf

文件大小：2.56MB

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更新时间：2022-08-12 13:04:58

传感技术

资料介绍 主要内容：MEMS和CMOS-MEMS技术、薄膜CMOS-MEMS、DRIE CMOS-MEMS、流程开发和改进、集成CMOS-MEMS惯性传感器、MEMS惯性传感器：应用。