论文研究-空间3-DOF柔性微动操控平台的设计和分析 .pdf

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文件名称：论文研究-空间3-DOF柔性微动操控平台的设计和分析 .pdf

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更新时间：2022-09-05 08:01:42

3-RPS

空间3-DOF柔性微动操控平台的设计和分析，伍万能，吴贵元，随着科学技术的发展，生物医学、精密加工和光纤操作等领域对微米或纳米级的操作需求越来越多。本文设计了一种以PZT为驱动器，采用