压电效应和热释电效应
常用的材料：
- ZnO，
- PZT lead ziconate titanate，
- PMN-PT lead magnesium niobate-lead titanate，
上边都是无机的
下边应该是有机的吧 - PVDF及其聚合物 polyvinylidene fluoride or its copolymers
电纺丝工艺能生产P(VDF-TrFE) 但是很复杂且昂贵。
微纳米打印工艺： nanoimprinting。
The freestanding nanowire array was synthesized by nanoimprinting via infiltration of P(VDF-TrFE) polymer melt into the anodic aluminum oxide (AAO) nanochannels and subsequent removal of the template
优点：能通过商业中获取不同大小的纳米模板
制备
A， 材料准备
10 wt% 的PVDF溶液，
将P(VDF-TrFE)粉末加入到DMF中，在60摄氏度下搅拌1h。
在Kapton基底上溅射一层Au(使用explorer multi-target sputtering system (Denton Vacuum)),之后在丙酮，酒精，去离子水中清洗，之后干燥。
将溶液spin-coating到Au-Kapton基底上，500r/min 60s
之后再120摄氏度下干燥2h取出DMF溶液。
商用的AAO纳米多孔模板， 400nm孔径，5um孔长
最后导电聚合物PEDOT:PSS 1wt%, 做上表面电极
B, 材料制备
先将P(VDF-TrFE) 旋涂到基底上 4-5um，之后蒸发溶剂DMF。
将AAO模板轻压到P(VDF-TrFE)薄膜上，在170摄氏度下维持1h，比P(VDF-TrFE)的熔点稍微高一点。
之后再120度下退火1h得到结晶体，之后缓慢冷却到室温。
最后将AAO溶解掉：
- 在2mol/L的CuCl2水溶液和 36wt%的HCl溶液混合溶液下，两者体积比为(2:1), Al的厚度~200um，在5-6min后可完全去除。
- 在4mol/L的NaOH溶液中 30-40min中溶解氧化铝
之后在纳米微阵列上 spin-coater 1000r/min 一层PPMA 防止短路
spinning 一层导电PEDOT：PSS，增加50MV/m的电压来沿垂直方向极化
结构：
- Au/Kapton, which acts as the bottom electrode,
- P(VDF-TrFE) nanowire array as the piezoelectric
- pyroelectric material and PEDOT: PSS conducting polymer as the top electrode, as shown in Fig. 1(e).