移相显微干涉系统中的衍射效应分析

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文件名称：移相显微干涉系统中的衍射效应分析
文件大小：914KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-02-11 05:02:27
移相显微 衍射效应 模拟计算 在移相型显微干涉轮廓仪中,由于显微放大系统对每幅干涉条纹图能通过的空间带宽有限,使得在最终计算重构样品细节形貌时出现畸变现象,通过模拟计算给出了对这种现象的分析,并给出了在一定条件下改善该畸变现象的方法。