微电子实验器件课件21

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文件名称：微电子实验器件课件21

文件大小：672KB

文件格式：PDF

更新时间：2022-08-03 14:24:00

软件/插件

1. 肖特基势垒二极管工艺流程及器件结构 2. 编写该器件的 Athena 程序，以得到器件精确的结构图 3. 定义初始衬底 5. 沉积 Pt 薄膜并剥离 6.