文件名称：通过使用钒元素改善硅化镍的热稳定性
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更新时间：2024-04-06 02:14:57
研究论文
通过使用Ni-V（镍钒）合金靶提高了硅化镍的热稳定性。 研究了硅化镍的形成温度与热稳定性之间的关系。 形成具有Ni-V的硅化镍之后的薄层电阻显示出稳定的特性，直到700℃的快速热处理温度，而在纯Ni的情况下，在该温度下开始薄层电阻的劣化。 另外，通过硅化后退火显示出热稳定性的提高。 认为Ni-V硅化物的热坚固性高度依赖于形成温度。 与使用Ni-V的低温情况相比，随着硅化温度的升高（大约700℃），形成了更加热稳定的Ni硅化物。 利用Ni-V合金靶形成硅化镍。 解释了V和V-陷阱配合物阻止了从NiSi到NiSi2的转变，从而提高了硅化镍的热稳定性。