一种提取多导体互连电磁参数的有效方法* (2002年)

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文件名称：一种提取多导体互连电磁参数的有效方法* (2002年)

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更新时间：2024-05-28 14:18:40

自然科学 论文

利用区域分解法，将直线法和有限差分法相结合，计算了多层介质多导体互连的电容和电感矩阵。通过在纯介质区域使用直线法，导体所在区域使用有限差分法分别进行求解，充分发挥其各自的优越性。数值结果表明该计算方法有效，且计算时间与介质层的厚度无关。