火焰法合成金刚石薄膜中晶体的组织结构研究* (1999年)

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文件名称：火焰法合成金刚石薄膜中晶体的组织结构研究* (1999年)

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更新时间：2024-06-02 20:03:23

自然科学 论文

金刚石薄膜的结晶习性、位错、孪晶、生长方式不但是其本身的特性，同时与它的生长环境息息相关，因此把握住沉积与晶体生长的关系，是准确地控制和获得所需性能薄膜的基础。对火焰法合成金刚石薄膜的晶体生长方式、结晶习性、孪晶、聚晶以及显微结构进行研究和分析，可为火焰法合成金刚石薄膜提供理论基础。