牺牲层腐蚀改进模型与模拟研究* (2008年)

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文件名称：牺牲层腐蚀改进模型与模拟研究* (2008年)

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更新时间：2024-05-29 11:25:48

工程技术 论文

牺牲层腐蚀主要受腐蚀液的扩散过程制约，由扩散方程决定。扩散系数在腐蚀过程中随温度和腐蚀液浓度变化而改变。文中对改进的腐蚀模型给出有限差分算法，由每一时刻溶液在具体位置的浓度值得出扩散系数，再由Topography模型计算前端面的腐蚀情况得到腐蚀前端行进的轮廓线。并编程对一些MEMS结构的释放过程进行仿真，最后给出实验验证。