制备GaN基材料的数值模拟研究进展 (2012年)

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文件名称：制备GaN基材料的数值模拟研究进展 (2012年)
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更新时间：2021-05-18 03:32:14
自然科学 论文 综述了紫外探测器的实际应用,特别介绍了紫外预警系统的作用原理;详细介绍了GaN基材料及其生长方法;对MOCVD法制备GaN基材料的过程做了详细描述,特别介绍了国内外MOCVD系统制备GaN基材料的数值模拟方法。