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文件名称：干涉仪精密气体润滑滑板的静态特性和动态特性 (1982年)
文件大小：330KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-30 01:42:55
工程技术 论文
为了控制具有长行程的液氮致冷干涉仪的可移动镜面在非常精确的范围内运动,应用了气体润滑滑板作为移动平台。获得了这样的控制:直线轨迹的锥角偏差小于0. 6328μm波长的1/5 ;在平移4.7 c时,转动稳定性在1/10秒之内;在3. 5 × 104g2/H Z的纯噪音振动的环境下工作时,滑板在垂直于驱动轴线方向上的位移小于0. 1μm。选用气体润滑的主要原因是它的低摩擦。没有静摩擦,以及能在+25℃至-19 6℃ 的温度范围内工作。为了利用致冷剂蒸发而得的气体,轴承间隙做得尽可能地小。轴承刚性是这样设计的,