MEMS技术发展现状及未来发展趋势_秦雷1

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文件名称：MEMS技术发展现状及未来发展趋势_秦雷1

文件大小：221KB

文件格式：PDF

更新时间：2022-08-03 19:14:39

摘要:MEMS技术作为一门多学科高度交叉的前沿学科领域，在近些年来得到迅速发展，在航空、航天、生物技术等领域都有广泛的应用。该技术可实现优质高产低耗，大大提高系