MEMS技术发展现状及未来发展趋势_秦雷1 时间:2022-08-03 19:14:39 【文件属性】: 文件名称:MEMS技术发展现状及未来发展趋势_秦雷1 文件大小:221KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-08-03 19:14:39 摘要:MEMS技术作为一门多学科高度交叉的前沿学科领域,在近些年来得到迅速发展,在航空、航天、生物技术等领域都有广泛的应用。该技术可实现优质高产低耗,大大提高系 立即下载