线阵CCD薄膜测宽装置关键技术 (2009年)

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文件名称：线阵CCD薄膜测宽装置关键技术 (2009年)

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更新时间：2024-06-06 14:07:13

自然科学 论文

为100%保证薄膜宽度指标，采用光学成像方法，用线阵CCD作光电接收传感器，以单片机作主控处理器。设计了可用于高精度测量薄膜宽度的装置，对薄膜宽度进行在线非接触高精度测量。经论证取得了较好的测量效果。生产现场精度优于±O.050mm，实验室精度优于±0.040mm。