文件名称：微压印中抗蚀剂填充行为研究 (2013年)
文件大小：1.07MB
文件格式：PDF
更新时间：2024-05-26 21:16:58
工程技术 论文
为了提高微压印的质量,改进工艺参数优化模具结构,对微压印杭蚀剂的填充行为进行了数值计算和可视化实验研究。实验在三维离焦数字粒子图像测速系统中进行,由此提取了杭蚀剂中的荧光示踪粒子的坐标,通过时间解析算法获得了示踪粒子的三维粒子场,利用粒子跟踪测试技术获得了示踪粒子的速度常数值模拟中采用了计算流体动力学软件,同时考虑了表面张力和接触角等因素,并根据模具特征划分了不同的压印区域,以分析、预测压印模型中的杭蚀剂填充行为。研究结果显示:数值模拟与实验结果吻合较好,杭蚀剂速度最大值在模具尖角与支撑基板之间,杭蚀剂速