二元光学在凸非球面零件检测中的应用 (2007年)

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文件名称：二元光学在凸非球面零件检测中的应用 (2007年)

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更新时间：2024-05-17 04:45:38

自然科学 论文

分析使用多种透镜组合成补偿镜对非球面进行背部检验，在各种传统检测方法的基础上，研究了一种新的检测方法———使用二元光学元件（CGH）作为补偿镜来检测大口径凸非球面，从而降低加工精度和减小系统体积。讨论了二元光学的原理和设计方法，并给出设计实例。