文件名称：神经元集群电信号探测用微电极阵列 (2009年)
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更新时间：2024-06-13 05:56:54
自然科学 论文
介绍了一种用于神经元集群电信号探测的2×2微电极阵列芯片。该芯片集成了4个直径为20μm、中心间距为100μm的圆形微电极。4个电极点周围都布满地线作为参考电极，4个电极点与参考电极的间距分别为5，10，15和20μm。芯片版图设计及验证采用华大九天系统设计软件Zeni完成，并通过无锡CSMC公司的0.6μm DMDPCMOS标准工艺实现，芯片面积为0.28mm×0.40mm。对芯片进行了在晶圆电学测试，采用频率为10Hz～1MHz，幅度为50mV的正弦信号作为输入信号，分别测试4个电极点的阻抗特性。测试