3D集成电路

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文件名称：3D集成电路

文件大小：554KB

文件格式：PDF

更新时间：2017-05-12 16:26:06

寄生参数

基础理论，关于三维集成电路硅穿孔的研究，有欧洲imec做的研究，对比仿真解析和实物测试。