文件名称：微磨料水射流技术及其应用 (2009年)
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更新时间：2024-06-10 03:45:26
自然科学 论文
介绍了微磨料水射流技术及其在半导*造工艺中的应用。在分析研究微磨料水射流技术国内外发展基础上，提出了微磨料水射流的产生方法及关键技术。对增压发生器的压力、喷嘴直径、微磨料粒子的精度、浆液磨料制备方法、浆液磨料的输送及质量流量的控制、工作平台的运动精度等关键技术进行了分析讨论。研究表明，为了产生射束直径100 μm以下的微磨料水射流，必须采用湿式磨料，同时完全避免空气进入。采用300 nm至8 μm氧化铝浆液磨料和Φ40-50 μm喷嘴，应用运载方法可以产生束径达Φ40-50μm级的微细加工磨料水射流。在