文件名称：冶金级硅氧气精炼过程杂质元素的热力学行为 (2013年)
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更新时间：2024-06-20 05:25:14
工程技术 论文
杂质元素硼的去除是当前冶金法制备太阳能级硅技术中最重要的环节之一．本文研究了氧气精炼去除冶金级硅中杂质元素的热力学行为，通过氧化物标准生成吉布斯*能，明确了Fe、Al、Ca、Cu、V、Ti、C、B、P等杂质氧化去除的难易程度，通过BO、B2O2、B2O3、BO2、B2O等气态硼氧化物热力学的研究，获得了平衡时硅中硼质量分数与硼气态氧化物平衡分压的关系．结果显示：80的挥发性最大，1 750℃时，将冶金级硅中的杂质硼从5 × 10-6降低至0．1 ×10-6，体系内BO的平衡分压将从2．5 Pa降低至0．