表面形貌的全息式非接触光学测量方法 (1998年)

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文件名称：表面形貌的全息式非接触光学测量方法 (1998年)

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更新时间：2024-06-09 03:15:23

自然科学 论文

讨论了关于表面形貌的一种全息式非接触光学测量新方法。此方法采用全息光学元件 HOE替代普通光学元件,作为离焦检测元件,提高了测量精度和范围。