一种硅片旋转甩干装置

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文件名称：一种硅片旋转甩干装置

文件大小：131KB

文件格式：DOCX

更新时间：2024-01-21 03:27:12

湿法清洗设备

技术领域 本实用新型涉及一种机械装置，尤其涉及一种干燥既全面又彻底、成本较低的硅片旋转甩干装置。