基于介观压阻效应的新型微陀螺仪结构设计与优化 (2009年)

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文件名称：基于介观压阻效应的新型微陀螺仪结构设计与优化 (2009年)
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更新时间：2021-05-28 14:11:43
工程技术 论文 介绍了介观压阻效应,其灵敏度比硅压阻效应高一个数量级。利用该效应作为高灵敏度器件,首次提出了介观压阻效应微陀螺仪结构,并论述了其工作原理。利用 ANSYS软件,对其结构性能进行仿真,分析了固有频率、振幅以及哥氏效应下敏感方向的位移等特性,提出了结构优化分析的方法。在哥氏效应等耦合作用下对该结构进行多参数优化设计,并得到优化结果。经过对结果进行比较和考量分析,结果证明: 微陀螺仪的驱动频率和检测频率的差值由原来的 217. 83 Hz增大到 362. 87 Hz,微陀螺仪的工作带宽增大,同时质量块在 Z方向