小尺寸器件栅隧穿电流预测模型 (2011年)

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文件名称：小尺寸器件栅隧穿电流预测模型 (2011年)

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更新时间：2024-06-03 22:20:46

自然科学 论文

针对具有超薄氧化层的MOS器件,使用积分方法,提出了一个新的栅隧穿电流与氧化层厚度关系的理论预测模 型,在此基础上使用HSPICE对MOS器件的特性进行了详细的研究,并定量分析了器件的工作情况,预测了在栅隧穿电流的影 响下小尺寸器件的特性变化趋势。使用BSIM 4模型进行仿真的结果与所提出的理论模型相符合。