锑化铟离子注入退火技术研究 (2013年)

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文件名称：锑化铟离子注入退火技术研究 (2013年)

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更新时间：2024-06-11 07:47:05

工程技术 论文

对锑化铟（InSb）铍离子（Be+）注入后的快速退火技术进行了研究，并对不同退火温度和时间的晶片进行了工艺实验，通过测试其PN结I-V特性，对比了不同快速退火条件对PN结特性的影响，确定在一定快速热退火条件下可以获得高质量的PN结，并对试验结果进行了分析。