文件名称：测量线性工作台滚转角误差的多探头法 (2012年)
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更新时间：2024-06-11 21:14:57
自然科学 论文
针对线性工作台运动过程中的滚转角误差，提出一种多探头测量方法.与传统的用2个位移传感器和1个具有高平面度的感应物测量滚转角误差的方法相比，所提出的方法利用4个位移传感器，无需高平面度的感应物，更容易实现测量.分析了各项几何误差对传感器读数的影响，利用顺序两点法采集传感器信号.根据传感器融合技术，得到滚转角误差的差分表达式；对测量系统进行了灵敏度和仿真分析.仿真和实验结果表明了该测量方法的可行性.