文件名称：基于声表面波微液滴并行加热研究 (2014年)
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更新时间：2024-06-04 09:24:46
工程技术 论文
提出了一种并行加热微液滴的方法， 在128°旋转Y切割X传播方向的LiNbO3 压电基片上采用微电子工艺制作叉指换能器和反射栅，在其声路径上贴合环形聚二甲基硅氧烷( PDMS)微槽，其内充满石蜡油微流体， 设计有多个受热区的图案，经过激光切割转移到导热性良好的、厚度为0.3 mm的铜金属传热片上，并放置于PDMS微槽上， 射频电信号加到叉指换能器上激发声表面波，辐射入微槽中的石蜡油微流体，并将能量通过传热片传递到受热区，进而加热受热区上的微液滴， 以纯净水微液滴为实验对象，进行了多个微液滴并行加热实验，