锗化硅材料导电特性的综述

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文件名称：锗化硅材料导电特性的综述
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更新时间：2020-12-31 09:42:50
晶圆 摘要：从Si材料到化合物半导体再到SiGe，微电子领域应用对材料提出了很高的要求，而这些材料却具有不断优化的性能，SiGe在高速发射和集成方面有很大的进步，SiGe-HBT等新技术的实验与开发为新材料带来了非常大的应用空间。